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產(chǎn)品名稱: EPS-1000探針臺(tái)
EPS-1000是韓國(guó)Ecopia高端的手動(dòng)探針臺(tái),有鎖針設(shè)計(jì)防止回針,臺(tái)面快速升降方便晶圓測(cè)試,適合科研及微電子器件的失效分析。
產(chǎn)品規(guī)格:
- 鍍金真空樣品吸盤(pán):4", 6", 8"等;
- 樣品尺寸:5x5mm ~ 4", 6", 8"等;
- 樣品卡盤(pán)平整度:10um;
- 探針座精度:0.7um;
- 樣品卡盤(pán)旋轉(zhuǎn)(Phi):360度;
- 探針臺(tái)臺(tái)面快速升降;
- 探針鎖位設(shè)計(jì),防止回針;
可選附件:
- 顯微鏡X/Y移動(dòng);
- CCD視頻鏡頭;
- 加熱臺(tái);
- 黑箱、屏蔽箱;
- 防振平臺(tái);
- 高倍顯微鏡 (2000X);
...
參考用戶:
四川大學(xué)、哈工大、中國(guó)海洋大學(xué)、鄭州大學(xué)、華中師范大學(xué)、南京大學(xué)、湖北大學(xué)、湖北工大、東北電力大學(xué)、中科院寧波材料所等。
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