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產(chǎn)品名稱: Ecopia HMS-5000全自動變溫霍爾效應(yīng)測試儀
霍爾效應(yīng)測試儀主要用于測量半導(dǎo)體材料的載流子濃度、遷移率、電阻率、霍爾系數(shù)、導(dǎo)電類型等重要參數(shù),而這些參數(shù)是了解半導(dǎo)體材料電學(xué)特性必須預(yù)先掌控的,因此霍爾效應(yīng)測試儀是理解和研究半導(dǎo)體材料電學(xué)特性必備的工具。
ECOPIA公司的HMS-5000全自動變溫霍爾效應(yīng)測量系統(tǒng)主要由恒電流源、范德堡法則終端轉(zhuǎn)換器、溫度控制及測量系統(tǒng)及磁場強度輸入系統(tǒng)組成,擁有研究半導(dǎo)體材料霍爾效應(yīng)所有的部件和配置,是一套非常成熟的儀器系統(tǒng)。同時HMS系列儀器獲得多項霍爾效應(yīng)測量系統(tǒng)、測量方法的專利,代表了霍爾效應(yīng)測量的全球品質(zhì)及合理的產(chǎn)品價格,并為全球客戶所認可。該產(chǎn)品2004年7月通過CE認證。
產(chǎn)品組成:
1、 主機系統(tǒng)
恒電流源+范德堡(Van der Pauw)方法終端轉(zhuǎn)換系統(tǒng)
2、 0.51特斯拉磁體包(型號:AMP51)
- 0.51特斯拉永磁體
- 磷銅樣品固定板
- 樣品固定板嵌入式加熱器
- 液氮槽
- 溫度傳感器
樣品變溫、固定部分組成 - 圓形液氮槽 - 樣品固定板 - 溫度傳感器 - 嵌入式加熱器 - 磁體蓋 - 電纜 |
AMP磁體Kit俯視圖 - 磁體移動馬達控制 - 圓形液氮槽 - 磁體蓋 - 電纜 |
3、 常溫測量彈簧夾具樣品板及常溫測量磁體蓋板 RTSK-5000 (選配)
4、 變溫霍爾效應(yīng)測量軟件
HMS-5000變溫霍爾效應(yīng)測量儀軟件主界面
不同溫度I-V/I-R曲線 載流子濃度隨溫度變化曲線
遷移率隨溫度變化曲線 電阻率隨溫度變化曲線
霍爾系數(shù)隨溫度變化曲線 電導(dǎo)率隨溫度變化曲線
產(chǎn)品規(guī)格:
1、 主要實驗參數(shù)
輸入電流:1nA ~ 20mA;
電阻率:10exp(-5) ~ 10exp7Ω.cm;
載流子濃度:10exp7 ~ 10exp21 cm-3;
遷移率:1 ~ 10exp7 cm2/Volt.sec;
磁場強度:0.51T;
樣品測量板:彈簧樣品板;
樣品尺寸:5mmX5mm ~ 20mmX20mm;
溫度范圍:80K-350K;
磁體包尺寸:700×220×280 mm (W×H×D) / 15.5Kg;
2、 軟件操作環(huán)境
XP / VISTA / Win7 / Win8 / Win10環(huán)境下
3、 實驗結(jié)果
- 體載流子濃度、表面載流子濃度;
- 遷移率;
- 霍爾系數(shù);
- 電阻率、方塊電阻;
- 磁致電阻;
- 電阻的縱橫比率;
4、 儀器尺寸和重量
主機尺寸:440×420×140 mm (W×H×D) / 8.5Kg;
5、 測量材料
Si, SiGe, SiC, GaAs, InGaAs, InP, GaN, TCO(including ITO), AlZnO, FeCdTe, ZnO等所有半導(dǎo)體薄膜(P型和N型);
參考用戶:
復(fù)旦大學(xué)、中國科技大學(xué)、華中科技大學(xué)、河南理工大學(xué)、河南大學(xué)、廈門大學(xué)、香港城市大學(xué)、香港科技大學(xué)、香港理工大學(xué)、電子科技大學(xué)、河北工業(yè)大學(xué)、吉林大學(xué)、中科院上海微系統(tǒng)所、中科院化學(xué)所、中科院沈陽金屬所、國家硅材料檢測中心、廣州有色金屬研究院、馳宏鋅鍺、深圳萊爾德等;
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