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產(chǎn)品名稱: 光刻機/紫外曝光機 (Mask Aligner)
光刻機又名:掩模對準曝光機,曝光系統(tǒng),光刻系統(tǒng),紫外曝光機等;ECOPIA為全球領(lǐng)先的半導體設(shè)備供應商,多年來致力于掩模對準光刻機和勻膠機研發(fā)與生產(chǎn),并且廣泛應用于半導體、微電子、生物器件和納米科技領(lǐng)域;該公司是目前世界上最早將光刻機商品化的公司之一,擁有雄厚的技術(shù)研發(fā)力量和設(shè)備生產(chǎn)能力;并且其設(shè)備被眾多著名企業(yè)、研發(fā)中心、研究所和高校所采用;以優(yōu)秀的技術(shù)、精湛的工藝和良好的服務,贏得了用戶的青睞。
產(chǎn)地:韓國ECOPIA公司;
型號:M-150
技術(shù)規(guī)格:
- 掩模尺寸:最大7英寸;
- 樣品尺寸:最大6英寸;
- 卡盤移動:X,Y,Z,Theta軸手動,楔形補償調(diào)平;
- 紫外光源:6.25" X 6.25";
- 光源功率:350瓦紫外燈;
- 光源均勻性:<+/-3%;
- 光源365nm波長強度:最大30毫瓦;
- 顯微鏡:雙顯微鏡系統(tǒng);
- 顯微鏡移動:X,Y,Z軸手動調(diào)節(jié);
- 顯微鏡物鏡空間:50-150mm;
- 標配放大倍率:80X-400X;
- 顯示器:20" LCD;
- 曝光時間:0.1-999秒;
- 接觸模式:真空接觸,硬接觸,軟接觸,接近接觸(距離可調(diào));
- 對準精度:1um (Vacuum Contact), 1.5um(Hard Contact), 3um(Soft Contact), 5um(Proximity Mode);
- 電源:220V,單相,15安培;
主要特點:
- 光源強度可控;
- 紫外曝光,深紫外曝光(Option);
- 系統(tǒng)控制:手動、半自動和全自動控制;
- 曝光模式:真空接觸模式(接觸力可調(diào)),Proximity接近模式, 投影模式;
- 真空吸盤范圍可調(diào);
- 專利技術(shù):可雙面對準,可雙面光刻,具有IR和CCD模式
- 雙CCD顯微鏡系統(tǒng),最大放大1000倍,顯示屏直接調(diào)節(jié),比傳統(tǒng)目鏡對準更方便快捷,易于操作。
- 特殊的基底卡盤可定做;
- 具有楔形補償功能;
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